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    光刻機專用UV-LED光源

    ① 曝光面積: 4'', 6'', 8''
    ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
    單波段和雙波段耦合
    ③  有效工作面積:
    4'': 110*110mm
    6'': 160*160mm
    8'': 200*200mm
    ④  不均勻性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
    ⑤ 光強/能量值:
    4'': >100mw@365nm  25A
    6'': > 50mw@365nm   25A

    8'': 25-50mw@365nm 25A

    ⑥ 平行半角:

    4'': ≤1.8°

    6'': ≤1.3°

    8'': ≤1.2°-2°

    ⑦ 工作距離: 100-350nm

    ⑧ 水冷方式

    豫公網安備 41072102000587號

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